发明名称 一种光电材料表面的纳米结构绒面及其制备方法
摘要 本发明涉及一种光电材料表面的纳米结构绒面及其制备方法,具体地公开了一种光电材料表面的重构纳米结构绒面的制备方法,包括以下步骤:(a)提供一基片,在所述基片表面通过干法刻蚀或湿法刻蚀形成初始纳米结构;(b)对所述的初始纳米结构进行氧化处理,在初始纳米结构的表面形成氧化层;(c)部分或全部地去除所述的氧化层,得到纳米结构绒面。本发明还公开了一种由该方法制备的重构纳米结构绒面。本发明的方法制得的纳米结构绒面具有高陷光、低比表面积的特点,其反射率在较宽的波段范围内可以稳定在3%以下,特别适合于高效率太阳电池的制备。并且有望形成面向下一代规模化应用的黑硅电池技术。
申请公布号 CN104576813A 申请公布日期 2015.04.29
申请号 CN201310480369.2 申请日期 2013.10.14
申请人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 发明人 高平奇;叶继春;韩灿
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I;B82Y30/00(2011.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 上海一平知识产权代理有限公司 31266 代理人 祝莲君;刘真真
主权项 一种光电材料表面的重构纳米结构绒面的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(a)提供一基片,通过干法刻蚀或湿法刻蚀在所述基片表面形成初始纳米结构;(b)对所述的初始纳米结构进行干法或湿法氧化处理,在初始纳米结构的表面形成氧化层;(c)部分或全部地去除所述的氧化层,得到重构纳米结构绒面。
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