振动致动器单元、台装置、光学装置以及台装置

摘要

一种振动致动器单元，具备：电机械变换元件，其将被施加的驱动电压的电振动变换为机械振动；和抵接部，其与驱动对象的被驱动面抵接，将电机械变换元件的机械振动作为驱动力传递到被驱动面，电机械变换元件在与被驱动面交叉的第一振动面内周期性弯曲而使抵接部在第一振动面内振动，且在与第一振动面交叉的第二振动面内周期性弯曲而使抵接部在第二振动面内振动。

主权项

一种振动致动器单元，具备：电机械变换元件，其将被施加的驱动电压的电振动变换为机械振动；和抵接部，其与驱动对象的被驱动面抵接，将所述电机械变换元件的机械振动作为驱动力传递到所述被驱动面，所述电机械变换元件，当被输入了相位差不同的驱动电压时，在与所述被驱动面交叉的第一振动面内周期性弯曲而使所述抵接部在所述第一振动面内振动，且在与所述第一振动面交叉的第二振动面内周期性弯曲而使所述抵接部在所述第二振动面内振动。