发明名称 一种用于搬运晶硅太阳能电池片料架的装置
摘要 本实用新型公开了一种用于搬运晶硅太阳能电池片料架的装置,通过在支撑框架设置依次正交移动连接的X轴直线移动机构、Z轴直线升降机构、Y轴直线进给机构和前端抓取机构,使前端抓取机构可通过Y轴直线进给机构、Z轴直线升降机构、X轴直线移动机构依次带动进行三轴向直线运动,实现在不同目标位置的工艺设备间对料架进行取放和搬运,能够精确、平稳地完成抓取、移载、放置料架动作,具有性能稳定、安全可靠、装卸容易的显著特点,可提高生产效率及最终产品质量,并最大可能地降低硅片损坏率。
申请公布号 CN204303785U 申请公布日期 2015.04.29
申请号 CN201520012692.1 申请日期 2015.01.08
申请人 北京七星华创电子股份有限公司 发明人 李广旭;袁正;李补忠;王广明
分类号 H01L21/677(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L21/677(2006.01)I
代理机构 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 代理人 陶金龙;张磊
主权项 一种用于搬运晶硅太阳能电池片料架的装置,其特征在于,包括:支撑框架,具有前侧开口面;X轴直线移动机构,跨设于所述支撑框架的上端,设有第一运动件,用以受驱动作平行于所述前侧开口面的水平X轴方向运动;Z轴直线升降机构,与所述X轴直线移动机构正交设置,并连接所述第一运动件,所述Z轴直线升降机构设有第二运动件,用以受驱动作平行于所述前侧开口面的垂直Z轴方向运动,并跟随所述第一运动件沿水平X轴方向运动;Y轴直线进给机构,与所述Z轴直线升降机构正交设置,并连接所述第二运动件,所述Y轴直线进给机构设有第三运动件,用以受驱动作垂直于所述前侧开口面的水平Y轴方向运动,并跟随所述第二运动件沿Z轴和X轴方向运动;前端抓取机构,与所述Y轴直线进给机构正交设置,并连接所述第三运动件,所述前端抓取机构设有第四运动件,用以受驱动抓取所述料架,并跟随所述第三运动件沿Y轴、Z轴和X轴方向运动,将位于所述前侧开口面外侧的所述料架在不同目标位置间取放和搬运。
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