作为UV光栅或可调UV滤镜用于清洁半导体衬底的臭氧充气室

摘要

一种具有内部充气室的石英窗，其通过向该充气室供应含臭氧的气体能运行作为光栅或者UV滤镜。能够调整该充气室内的压强以阻挡UV光透射进入所述脱气腔室中，或调整UV光通过所述窗的透射率。当排空所述充气室时，所述充气室使得进入所述脱气腔室的UV光的透射最大化。

主权项

一种脱气腔室的石英窗，在该脱气腔室中使用含臭氧的气体在UV光照射下清洁半导体衬底，所述石英窗包括：底表面，顶表面以及在所述底表面和所述顶表面之间延伸的侧壁；位于所述顶表面和所述底表面之间的充气室；以及与所述充气室流体连通的至少一个气体通道，其中所述石英窗包括与所述充气室流体连通的能运行以使所述含臭氧的气体能够供应到所述充气室的第一气体通道以及与所述充气室流体连通的能运行以使所述充气室能排空的第二气体通道。