| 摘要 |
어레이 기판(11b)은, 제2 금속막(38)을 포함하는 제1 전극부(29a, 29b)와, 제1 다이오드측 개구부(29c1, 29c2)를 통해 제1 전극부(29a, 29b)에 접속되는 제1 반도체부(29d)를 갖는 제1 다이오드(29)와, 제1 금속막(34)을 포함하고 게이트 배선(19)의 단부에 형성되는 게이트 배선측 접속부(48)와, 콘택트부측 개구부(49a)를 통해 게이트 배선측 접속부(48)에 접속되는 다이오드측 접속부(50)를 갖는 콘택트부(32)와, 반도체막(36)을 포함하고 제2 금속막(38)을 성막하기 전의 단계에서 제1 다이오드(29)와 콘택트부(32) 중 어느 한쪽에서 발생한 정전기를 유인하기 위한 정전기 유인부(52)와, 보호막(37)을 포함하고 정전기 유인부(52)와 평면으로 볼 때 중첩되는 위치에 관통하여 형성되는 정전기 유인 개구부(53a)를 갖는 유인부 보호부(53)를 갖는 정전기 보호부(51)를 구비한다. |
