发明名称 一种基于机器视觉的集成芯片管脚几何尺寸检测计算方法
摘要 本发明公开了一种基于机器视觉的集成芯片管脚几何尺寸检测计算方法。在集成芯片管脚图像中,选择图像中包含集成芯片以及芯片管脚的最小矩形区域作为ROI图像区域;进行二值化,使用拟合法获得集成芯片纵向对称轴两侧的内外边界拟合直线,使得所有管脚的内外角点处于两侧各自对应的拟合直线附近;分别沿两侧的内外边界拟合直线进行遍历,找到各个内、外角点,进而得到内外角点对集合;对于各个管脚,以内外角点对集合中的内外角点坐标拟定该管脚,得到图像几何尺寸,再乘以换算比例尺,得到实际几何尺寸。本发明利用机器视觉并采用了较为快速、简便且精确度高的计算方法,可以实现对集成芯片管脚高速度、高精确度的检测效果。
申请公布号 CN104574367A 申请公布日期 2015.04.29
申请号 CN201410802987.9 申请日期 2014.12.21
申请人 浙江大学 发明人 曾继平;李基拓;陆国栋;王贝;陈光
分类号 G06T7/00(2006.01)I;G06T7/60(2006.01)I;G01B11/00(2006.01)I 主分类号 G06T7/00(2006.01)I
代理机构 杭州求是专利事务所有限公司 33200 代理人 林超
主权项 一种基于机器视觉的集成芯片管脚几何尺寸检测计算方法,其特征在于该方法包括:1)在采集到的集成芯片管脚图像中,设置ROI图像区域,选择图像中包含有集成芯片以及芯片管脚的最小矩形区域作为ROI图像区域;2)对集成芯片管脚ROI图像区域进行二值化,得到二值化后的ROI图像区域,其二值化采用以下公式:<maths num="0001" id="cmaths0001"><math><![CDATA[<mrow><msub><mi>pix</mi><mi>new</mi></msub><mrow><mo>(</mo><mi>x</mi><mo>,</mo><mi>y</mi><mo>)</mo></mrow><mo>=</mo><mfenced open='{' close=''><mtable><mtr><mtd><mn>0</mn></mtd><mtd><mo>,</mo><mi>pix</mi><mrow><mo>(</mo><mi>x</mi><mo>,</mo><mi>y</mi><mo>)</mo></mrow><mo>&lt;</mo><mi>T</mi></mtd></mtr><mtr><mtd><mn>255</mn></mtd><mtd><mo>,</mo><mi>pix</mi><mrow><mo>(</mo><mi>x</mi><mo>,</mo><mi>y</mi><mo>)</mo></mrow><mo>&GreaterEqual;</mo><mi>T</mi></mtd></mtr></mtable></mfenced></mrow>]]></math><img file="FDA0000639637270000011.GIF" wi="738" he="169" /></maths>其中,T为二值化的阈值,pix<sub>new</sub>(x,y)表示当前坐标(x,y)下像素点二值化后的灰度值,pix(x,y)表示当前坐标(x,y)下像素点二值化前的灰度值;3)使用拟合法获得集成芯片纵向对称轴两侧的内外边界拟合直线,使得集成芯片所有管脚的内外角点处于两侧各自对应的拟合直线附近;4)对于集成芯片管脚两侧的拟合直线,分别沿该侧的内、外边界拟合直线进行遍历,找到集成芯片管脚的各个内、外角点,进而得到各个管脚的内外角点对集合{(p<sub>up‑i</sub>,p<sub>down‑i</sub>,q<sub>up‑i</sub>,q<sub>down‑i</sub>),i=1...n},n表示集成芯片单侧的管脚个数,i表示集成芯片单侧的第i个管脚;5)对于各个管脚,以内外角点对集合{(p<sub>up‑i</sub>,p<sub>down‑i</sub>,q<sub>up‑i</sub>,q<sub>down‑i</sub>),i=1...n}中的内外角点坐标拟定该管脚,计算得到其图像几何尺寸,将图像几何尺寸乘以换算比例尺k,得到该管脚的实际几何尺寸。
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