处理系统

摘要

一种处理系统，能够使涂敷作业的作业效率提高，对应于多尺寸的面板。本发明的处理系统具备：具备向面板的表面涂敷液体的开口部的涂敷装置；将前述面板与前述涂敷装置的前述开口部面临地运送的运送装置；和在前述面板的运送方向的从与前述涂敷装置相比为上游侧的面板运入区域遍及到与前述涂敷装置相比为下游侧的面板运出区域地延伸设置，以非接触方式支承前述面板的多个上浮单元，前述涂敷装置相对于前述运送方向固定地设置，前述多个上浮单元在与前述运送方向正交的方向离开地设置，前述运送装置具备：被设置在前述多个上浮单元之间，吸附前述面板的下面的多个吸附单元；和与前述多个吸附单元连接地设置，使各吸附单元独立地在前述运送方向往复移动的驱动单元。

主权项

一种处理系统，其特征在于，具备：具备向面板的表面涂敷液体的开口部的涂敷装置；将前述面板与前述涂敷装置的前述开口部面临地运送的运送装置；和在前述面板的运送方向的从与前述涂敷装置相比为上游侧的面板运入区域遍及到与前述涂敷装置相比为下游侧的面板运出区域地延伸设置，以非接触方式支承前述面板的多个上浮单元，前述涂敷装置相对于前述运送方向固定地设置，前述多个上浮单元在与前述运送方向正交的方向离开地设置，前述运送装置具备：被设置在前述多个上浮单元之间，吸附前述面板的下面的多个吸附单元；和与前述多个吸附单元连接地设置，使各吸附单元独立地在前述运送方向往复移动的驱动单元。