发明名称 晶粒分选机
摘要 本发明公开了一种晶粒分选机,包括晶粒输入带、晶粒检测承台、磁性晶粒收集单元和检测装置;晶粒输入带用于将待分选晶粒输入、并经过磁性晶粒收集单元的磁性分选作用收集带磁性晶粒后、将剩余待分选的无磁性晶粒逐颗输入晶粒检测承台;检测装置用于将待分选的无磁性晶粒进行分选检测;晶粒检测承台的台面四周至少分布有两个分选收集单元,其包括收集吸嘴和分选收集盒;收集吸嘴正对着晶粒检测承台台面上的待分选晶粒、用于将分选检测后的晶粒吸取并落入分选收集盒中。将分磁操作集合在检测前输入阶段、缩短单独工序,简化了检测后独立的传送机构、分选直接高效、没有多余传送动作、可大幅提升分选效率,动作衔接顺畅,实现高精度分选。
申请公布号 CN104550055A 申请公布日期 2015.04.29
申请号 CN201410840196.5 申请日期 2014.12.30
申请人 苏州凯锝微电子有限公司 发明人 刘思佳
分类号 B07C5/36(2006.01)I;B07C5/02(2006.01)I;B07C5/00(2006.01)I;B07C5/34(2006.01)I 主分类号 B07C5/36(2006.01)I
代理机构 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人 董建林
主权项 一种晶粒分选机,其特征在于:包括依次相连并相同水平面设置的晶粒输入带和晶粒检测承台、设置在晶粒输入带侧边的磁性晶粒收集单元、以及设置在晶粒检测承台的台面正上方的检测装置;所述晶粒输入带用于将待分选晶粒输入、并经过磁性晶粒收集单元的磁性分选作用收集带磁性晶粒后、将剩余待分选的无磁性晶粒逐颗输入晶粒检测承台;所述检测装置用于将晶粒检测承台的待分选的无磁性晶粒进行分选检测;所述晶粒检测承台的台面四周以台面中点为中心、并与台面相同水平面至少分布有两个分选收集单元,所述分选收集单元仅围绕晶粒检测承台中不与晶粒输入带相连的台面四周;所述分选收集单元包括收集吸嘴和分选收集盒;所述分选收集盒与晶粒检测承台的台面周沿相连、且顶面敞口、并保持顶面与台面齐平;所述收集吸嘴正对着晶粒检测承台台面上的待分选晶粒、用于将分选检测后的晶粒吸取并落入分选收集盒中。
地址 215000 江苏省苏州市高新区珠江路525号