| 发明名称 | 芯片对数据库的影像检测方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种芯片对数据库的影像检测方法，可选择整个晶圆中欲检查的各芯片位置。在此方法中，先选择一晶圆中欲检查的多个芯片位置中的多个检查区域，再取得所述检查区域的实际影像，并对所述实际影像的位置进行译码。然后，对所述实际影像进行影像萃取，以得到多个影像轮廓，随后比对所述轮廓与上述芯片的设计数据库，以得到缺陷检测的结果，并可实施到整个晶圆。 | ||
| 申请公布号 | CN104568979A | 申请公布日期 | 2015.04.29 |
| 申请号 | CN201410128430.1 | 申请日期 | 2014.04.01 |
| 申请人 | 旺宏电子股份有限公司 | 发明人 | 骆统;杨令武;杨大弘;陈光钊 |
| 分类号 | G01N21/95(2006.01)I;G06F17/30(2006.01)I;G06T5/00(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/95(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 任岩 |
| 主权项 | 一种芯片对数据库的影像检测方法，包括：选择一晶圆中欲检查的多个芯片位置中的多个检查区域；取得所述检查区域的实际影像；对所述实际影像的位置进行译码；对所述实际影像进行影像萃取，以得到多个影像轮廓；以及比对所述影像轮廓与所述芯片的设计数据库(design database)，以得到所述晶圆中欲检查的所述芯片位置的缺陷检测的结果。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹科学工业园区力行路16号 | ||