发明名称 | 一种TEM样品的制备方法 | ||
摘要 | 本发明提供一种TEM样品的制备方法,其先将MEMS中的悬浮薄膜转移到一个随机的Si空片上,而后采用FIB进行常规样品制备,实现了MEMS中的悬浮薄膜的TEM样品制备。本发明中将悬浮薄膜与基体分离以后,悬浮薄膜是通过静电吸附的方式被吸起来的,这就最大限度的保证了悬浮薄膜的完整性;吸起来的悬浮薄膜通过AB胶与Si空片完全结合在一起的,该TEM样品在进一步的FIB制备过程中不会出现任何的变形和损坏;并且,将悬浮薄膜转移到Si空片上以后,样品切出来肯定是Si衬底存在的,在TEM观测中,可以通过做衍射保证电子束垂直样品界面入射,保证了量测数据的准确性;先将悬浮薄膜转移到Si空片上再进行样品的制备,使得该方法简单易行,大大节省了样品的制备时间。 | ||
申请公布号 | CN104568530A | 申请公布日期 | 2015.04.29 |
申请号 | CN201310492791.X | 申请日期 | 2013.10.18 |
申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 齐瑞娟;王雪雨;王小懿;陈柳;段淑卿 |
分类号 | G01N1/28(2006.01)I | 主分类号 | G01N1/28(2006.01)I |
代理机构 | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人 | 李仪萍 |
主权项 | 一种TEM样品的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:1)提供一MEMS样品,使该MEMS样品中的悬浮薄膜与基体分离;2)将所述悬浮薄膜与基体分离的MEMS样品放入吸取机台,利用吸取系统吸取分离出来的悬浮薄膜;3)提供一Si空片,将其放置于吸取机台上,在Si空片上涂覆AB胶;4)通过转针将吸取起来的悬浮薄膜放在所述已涂有AB胶的Si空片上;5)将步骤4)之后获得的结构送入烘烤机台进行烘烤,使AB胶固化,以使悬浮薄膜与Si空片结合;6)将步骤5)之后获得的结构放入FIB机台进行切割,得到所需TEM样品。 | ||
地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 |