镀膜的金刚石切削的复制母盘和相关联的方法

摘要

本发明提供了一种用于制备晶片级透镜阵列的镀膜的、金刚石切削的复制母盘及其形成方法。一种用于制备晶片级透镜阵列的镀膜的、金刚石切削的复制母盘包括低硬度金刚石可切削片、形成在低硬度金刚石可切削片中的型面、和形成在型面上用于保护型面的抗氧化涂层。型面包括多个光体，所有多个光体被单个金刚石切割工具切割至内部。一种用于形成镀膜的、金刚石切削的复制母盘的方法包括使用单个金刚石切割工具在低硬度金刚石可切削片中形成型面的步骤。型面包括多个光体，所有光体通过单个金刚石切割工具形成。该方法还包括：在形成多个光体的步骤之后，将型面用抗氧化涂层涂覆。

主权项

一种用于形成镀膜的、金刚石切削的复制母盘的方法，包括以下步骤：使用单个金刚石切割工具在低硬度的金刚石可切削片中形成型面，所述型面包括多个光体，所有所述多个光体通过所述单个金刚石切割工具形成；和将所述型面用抗氧化涂层涂覆。