一种以氮氧化钛为应变材料的薄膜压力传感器及其制造方法

摘要

本发明的目的在于公开一种以氮氧化钛为应变材料的薄膜压力传感器及其制造方法，它包括一不锈钢弹性基底，所述不锈钢弹性基底上设置有芯体薄膜层，所述芯体薄膜层包括绝缘层、应变电阻层、电极及测温电阻层和钝化层，所述绝缘层、应变电阻层、电极及测温电阻层和钝化层依次通过真空沉积的方法沉积在所述不锈钢弹性基底上；与现有技术相比，使用氮氧化钛薄膜作为应变电阻层制备得到的薄膜压力传感器的芯体，具有热稳定好、生产成本低和生产效率高的优点，并可同时实现温度与压力参数的测量，适用于高温及苛刻环境下的使用，实现本发明的目的。

主权项

一种以氮氧化钛为应变材料的薄膜压力传感器，其特征在于，它包括一不锈钢弹性基底，所述不锈钢弹性基底上设置有芯体薄膜层，所述芯体薄膜层包括绝缘层、应变电阻层、电极及测温电阻层和钝化层，所述绝缘层、应变电阻层、电极及测温电阻层和钝化层依次通过真空沉积的方法沉积在所述不锈钢弹性基底上。