静电传感器

摘要

提供一种静电传感器，在维持导电层的密接性的同时抑制各层特别是导电层的细化，具备保护层相对于导电层没有以檐状突出的构造的布线图案。该静电传感器在基材的表面形成有电极图案、和与电极图案电连接的布线图案，至少布线图案具备在基材上形成的透明电极层、在透明电极层上形成且包含铜和镍的连接层、在连接层上形成且铜的含有率比连接层高的导电层、和在导电层上形成且包含铜和镍的保护层，连接层比保护层厚，保护层中的镍的含有率比导电层中的镍的含有率大，导电层比上述保护层厚。

主权项

一种静电传感器，在基材的表面形成有电极图案和与上述电极图案电连接的布线图案，其特征在于，上述布线图案至少具备：透明电极层，形成在上述基材上；连接层，形成在上述透明电极层上，包含铜和镍；导电层，形成在上述连接层上，铜的含有率比上述连接层高；以及保护层，形成在上述导电层上，包含铜和镍，上述连接层比上述保护层厚，上述保护层中的镍的含有率比上述导电层中的镍的含有率大，上述导电层比上述保护层厚。