| 发明名称 | 一种四氟化碳中微量三氟化氮的去除工艺 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种四氟化碳中微量三氟化氮的去除工艺，在催化剂作用下，活性金属与四氟化碳中的三氟化氮发生氟化反应，生成金属氟化物和氮气，实现将四氟化碳中微量三氟化氮去除，其中活性金属为Cu、Mn等中的一种或两种与Ca、Al、Zn等中的一种或多种组成的混合物，混合物中Cu+Mn的质量分数一般＞50％，催化剂一般为铬或镍的氟化物，氟化反应温度一般在80～200℃。通过本工艺，可以将四氟化碳中NF<sub>3</sub>的含量从几十ppm降低到1ppm以内，满足半导体行业对四氟化碳中杂质含量的控制要求。 | ||
| 申请公布号 | CN104548927A | 申请公布日期 | 2015.04.29 |
| 申请号 | CN201510020463.9 | 申请日期 | 2015.01.07 |
| 申请人 | 黎明化工研究设计院有限责任公司 | 发明人 | 张金彪;吴旭飞;袁胜芳;赵国辉;汤月贞;黄晓磊;牛学坤;侯玲玲 |
| 分类号 | B01D53/86(2006.01)I;B01D53/54(2006.01)I;B01D53/68(2006.01)I;C07C19/08(2006.01)I;C07C17/395(2006.01)I | 主分类号 | B01D53/86(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种四氟化碳中微量三氟化氮的去除工艺，在催化剂作用下，活性金属与四氟化碳中的三氟化氮发生氟化反应，生成金属氟化物和氮气，其中活性金属为Cu、Mn中的一种或两种与Ca、Al、Zn中的一种或以上组成的混合物。 | ||
| 地址 | 471000 河南省洛阳市王城大道69号 | ||