一种薄膜应力测试装置及方法

摘要

本发明涉及微机电系统（EMES）测试技术，具体涉及一种薄膜应力测试装置及方法。本装置包括对轴称设计的至少两个固定端，每一固定端与一固定梁连接，每一固定梁的另一自由端通过一固定梁连接颈与一悬臂梁一端呈一夹角连接，两悬臂梁的另一端通过两悬臂梁连接颈夹设一指针梁，所述指针梁靠近一悬臂梁而远离另一悬臂梁，所述指针梁指向一刻度尺，所述刻度尺包括形成于基片上的牺牲层和形成于牺牲层上的待测薄膜，其上设有梳齿结构，用于配合指针梁读取所述指针梁的摆动值。本发明的方法运用于上述装置，通过悬臂梁、旋转臂和指针梁将固定梁的微笑位移二次放大成指针梁的摆动位移，并且通过刻度尺直接得到，并通过线弹性理论公式求解出薄膜中的残余应力。

主权项

一种薄膜应力测试装置，其特征在于：包括对轴称设计的至少两个固定端，每一固定端与一固定梁连接，每一固定梁的另一自由端通过一固定梁连接颈与一悬臂梁一端呈一夹角连接，两悬臂梁的另一端通过两悬臂梁连接颈夹设一指针梁，所述指针梁靠近一悬臂梁而远离另一悬臂梁，所述指针梁与悬臂梁连接颈连接之处具有一弯折角度α，使得指针梁与距离较近的悬臂梁的夹角范围为10°‑90°，所述指针梁指向一刻度尺，所述刻度尺包括形成于基片上的牺牲层和形成于牺牲层上的待测薄膜，其上设有梳齿结构，用于配合指针梁读取所述指针梁的摆动值。