三氯氢硅合成料中轻组分的回收利用方法和装置

摘要

本发明公开一种三氯氢硅合成料中轻组分的回收利用方法和装置，涉及多晶硅生产技术领域，解决了现有三氯氢硅合成料中轻组分的处理工艺中浪费原料及危害环境的问题。本发明的主要技术方案为：对三氯氢硅合成料进行精馏处理，得到侧线组分、轻组分及重组分；将轻组分与TET进行反歧化反应得到第一产物混合物；将第一产物混合物中的硼化合物除去得到第二产物混合物；对第二产物混合物进行分馏处理，得到包括DCS的第一组分和包括TCS和TET的第二组分。第一组分中二氯二氢硅的含量为75-85％；第二组分包括三氯氢硅和四氯化硅。本发明主要用于回收利用三氯氢硅合成料中轻组分杂质。

主权项

一种三氯氢硅合成料中轻组分的回收利用方法，其特征在于，包括如下步骤：1)对三氯氢硅合成料进行精馏处理，得到侧线组分、轻组分及重组分；2)将轻组分与四氯化硅混合，并使所述轻组分中的二氯二氢硅与所述四氯化硅发生反歧化反应，得到第一产物混合物；3)将所述第一产物混合物中的硼化合物除去，得到第二产物混合物；4)对所述第二产物混合物进行分馏处理，得到第一组分和第二组分；其中，所述第一组分中二氯二氢硅的含量为75‑85％；第二组分包括三氯氢硅和四氯化硅。