一种薄膜应力量测方法及量测装置

摘要

本发明涉及一种薄膜应力量测方法及量测装置，属于测量技术领域。该薄膜应力量测方法及量测装置中，激光发射器投射至少两束激光投射到待量测的薄膜上，使得检测器在接受到经薄膜反射的反射光后，能根据多束反射光反射角之间的差值Δα修正薄膜应力，从而能够有效降低量测误差；同时，该量测装置还包括旋转镜组，能将超出量程的反射光投射到激光接收单元，以此扩大量测范围，进一步提高量测结果的精确度，且本发明的薄膜应力量测装置结构简单，成本低廉，量测方法应用方式简便，使用范围也较为广泛。

主权项

一种薄膜应力量测方法，其特征在于，所述的方法包括以下步骤： 步骤（10）将至少两束激光投射到待量测的薄膜上； 步骤（20）检测器检测所述的至少两束激光从所述的薄膜上反射后的反射光； 步骤（30）根据至少两束激光反射光的反射角分别计算出对应各反射光测出的薄膜应力以及各反射光的反射角之间的差值Δα； 步骤（40）基于所述差值Δα对上述各束反射光测出的薄膜应力进行修正。