光罩制作过程中的参数优化方法

摘要

本发明实施例公开了一种光罩制作过程中的参数优化方法，包括参数选取步骤：选取至少3种影响光罩品质的参数，每种参数赋予预定数目个参数值，以构成实验用正交表，其他参数保持固定不变；实验步骤：根据所述正交表进行实验获得实验结果，并对每次实验的结果进行参数设计，求出每个参数在不同取值时的平均信噪比值即S/N；及绘图步骤：根据所述S/N绘制S/N 效应图，通过所述S/N 效应图分析预测出优化参数组合。本发明实施例利用正交表来挑选具有代表性的实验参数组合进行实验，以对多个主要影响光罩产品精度的参数进行优化，并确定最佳的工艺参数组合，具有优化方法简单、快速及有效的特点，大大提高了光罩产品的制作精度。

主权项

一种光罩制作过程中的参数优化方法，其特征在于，所述方法包括：参数选取步骤：选取至少3种影响光罩品质的参数，每种参数赋予预定数目个参数值，以构成实验用正交表，其他参数保持固定不变；实验步骤：根据所述正交表进行实验获得实验结果，并对每次实验的结果进行参数设计，求出每个参数在不同取值时的平均信噪比值即S/N；及绘图步骤：根据所述S/N绘制S/N效应图，通过所述S/N效应图分析预测出优化参数组合。