| 发明名称 | 配置涂胶显影机内工艺模块数量及机器人速度的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用以在集成电路生产时，开发设计高产能并与光刻机联线生产的涂胶显影机，需要合理配置机台内工艺处理模块的数量及机器人工艺传递的速度，本发明提供一种配置涂胶显影机内工艺处理模块数量及机器人工艺传递速度的方法，根据目标产能确立机台的工艺时间参数，设计机台内各个工艺处理模块的工艺处理周期时间参数与各个晶圆传递机器人的工艺传递周期时间参数，使得三个时间参数保持一致。 | ||
| 申请公布号 | CN104576440A | 申请公布日期 | 2015.04.29 |
| 申请号 | CN201310526288.1 | 申请日期 | 2013.10.29 |
| 申请人 | 沈阳芯源微电子设备有限公司 | 发明人 | 胡延兵;冯伟 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;G03F7/16(2006.01)I;G03F7/26(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人 | 许宗富 |
| 主权项 | 一种配置涂胶显影机内工艺模块数量及机器人速度的方法，其特征在于，根据目标产能确立机台的工艺时间参数TP，设计机台内各个工艺处理模块的工艺处理周期时间参数与晶圆传递机器人的工艺传递周期时间参数，使得三个时间参数趋于一致。 | ||
| 地址 | 110168 辽宁省沈阳市浑南新区飞云路16号 | ||