| 发明名称 | 测量分度和具有该测量分度的光电位置测量仪 | ||
| 摘要 | 本发明题为“测量分度和具有该测量分度的光电位置测量仪”。本发明定义用于在第一方向(X)和垂直于第一方向伸展的第二方向(Y)测量位置的光电位置测量仪的测量分度(1)，其是可以特别容易地制造的，和通过所述测量分度能够精确地测量位置。测量分度(1)包括由在第一方向(X)和第二方向(Y)周期性地布设的光栅单元(2)构成的相栅。光栅单元(2)各自具有由线条形成的外部轮廓，所述线条包括两个相对的第一直边(K1)和两个垂直于所述第一直边伸展的相对的第二直边(K2)以及第一边(K1)与第二边(K2)之间的连接线(K3)，所述连接线分别合围成钝角(α)。 | ||
| 申请公布号 | CN104567671A | 申请公布日期 | 2015.04.29 |
| 申请号 | CN201410810833.4 | 申请日期 | 2014.09.30 |
| 申请人 | 约翰内斯·海德汉博士有限公司 | 发明人 | J·韦德曼;P·施佩克巴赫;A·格雷厄姆 |
| 分类号 | G01B11/00(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 徐予红;刘春元 |
| 主权项 | 用于在第一方向(X)和垂直于第一方向伸展的第二方向(Y)测量位置的光电位置测量仪的测量分度，其包括具有在第一方向(X)和第二方向(Y)周期性地布设的光栅单元(2)的相栅，其特征在于，所述光栅单元(2)各自具有由线条形成的外部轮廓，所述线条包括两个相对的第一直边(K1)和两个垂直于所述第一直边伸展的相对的第二直边(K2)以及各个第一边(K1)与第二边(K2)之间的连接线(K3)，所述连接线分别合围成钝角(α)。 | ||
| 地址 | 德国特劳恩罗伊特 | ||