发明名称 Optomechanical device for actuating and/or detecting the movement of a mechanical element, in particular for gravimetric detection
摘要 Dispositif optomécanique d'actionnement et/ou de détection du déplacement d'un élément mécanique, notamment pour la détection gravimétrique. Il comprend un support (20) et, sur celui-ci, au moins un élément mécanique (26) qui est ancré au support et apte à se déplacer par rapport à ce dernier, et un dispositif d'actionnement de cet élément et/ou de détection du déplacement de l'élément ou de variations de fréquence du déplacement, au moins une partie du dispositif d'actionnement et/ou du dispositif de détection étant disposée sous tout ou partie de l'élément, entre ce dernier et le support. Selon l'invention, le dispositif d'actionnement et/ou de détection comprend un dispositif optique fixe (21) qui comporte au moins un guide d'onde optique (22), qui est disposé sous tout ou partie de l'élément, à une distance déterminée de celui-ci, et qui est prévu pour propager au moins une onde optique ayant une longueur d'onde donnée, apte à interagir avec l'élément. Et le guide d'onde optique est à une distance déterminée de l'élément mécanique pour que le champ évanescent du guide d'onde optique interagisse avec l'élément mécanique.
申请公布号 EP2866000(A1) 申请公布日期 2015.04.29
申请号 EP20140189702 申请日期 2014.10.21
申请人 COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIESALTERNATIVES 发明人 HENTZ, SÉBASTIEN;DURAFFOURG, LAURENT;JOURDAN, GUILLAUME
分类号 G01D5/26;G01D5/353;G01N5/00;G02B6/12;G02B6/35 主分类号 G01D5/26
代理机构 代理人
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