一种在自动扫描过程中自动补偿对焦的系统及方法与应用

摘要

本发明涉及一种在自动扫描过程中自动补偿对焦的系统，以及实现方法，并将其运用在显微镜上，用于对由于机械运动、机械加工和安装、热胀冷缩等因素产生的微小误差，进行补偿修正，从而保证显微镜在扫描过程中，每个视野都能够获得清晰的图像。所述的自动补偿对焦的系统，包括目标平台、成像装置，所述的目标平台在所在平面运动，所述的成像装置在垂直于目标平台的方向上运动，还包括对焦补偿系统，所述的对焦补偿系统包括至少两个位移测量装置，第一位移测量装置安装于目标平台，用于检测目标平台运动过程中存在的垂直方向的误差位移；第二位移测量装置安装在成像装置上，用于检测成像装置的镜头与目标平台的相对距离。

主权项

一种在自动扫描过程中自动补偿对焦的系统，包括目标平台、成像装置，所述的目标平台在所在平面运动，所述的成像装置在垂直于目标平台的方向上运动，其特征在于，还包括对焦补偿系统，所述的对焦补偿系统包括至少两个位移测量装置，第一位移测量装置安装于目标平台，用于检测目标平台运动过程中存在的垂直方向的误差位移；第二位移测量装置安装在成像装置上，用于检测成像装置的镜头与目标平台的相对距离。