图案化石墨烯薄膜及阵列基板的制作方法、阵列基板

摘要

本发明公开了一种图案化石墨烯薄膜的制作方法，包括：在基板上形成一层石墨烯，并在所述石墨烯上涂布感光材料；采用构图工艺使需要形成石墨烯薄膜图形区域的感光材料被去除；将已去除感光材料后裸露的石墨烯氧化成氧化石墨烯层；对整个基板进行超声波清洗，除去基板上未被氧化的石墨烯和该石墨烯上的感光材料；将氧化石墨烯层还原成石墨烯层，得到所述石墨烯薄膜。本发明还同时公开了一种阵列基板及其制作方法，运用该方法、阵列基板可减小数据线的线宽，提高开口率和分辨率。

主权项

一种图案化石墨烯薄膜的制作方法，其特征在于，该方法包括：首先，在基板上形成一层石墨烯，并在所述石墨烯上涂布感光材料；之后，采用构图工艺使需要形成石墨烯薄膜图形区域的感光材料被去除；然后，将已去除感光材料后裸露的石墨烯氧化成氧化石墨烯层；然后，对整个基板进行超声波清洗，除去基板上未被氧化的石墨烯和该未被氧化的石墨烯上的感光材料；最后，将氧化石墨烯层还原成石墨烯层，得到所述石墨烯薄膜。