气浮导轨测量装置

摘要

本实用新型公开了气浮导轨测量装置，包括气浮导轨装置，在该气浮导轨装置上还设置有转动测量装置，在气浮导轨装置与转动测量装置上还连接有控制装置；气浮导轨装置由X轴导向结构、X轴气浮平台、Y轴导向结构、Y轴气浮平台、立柱以及Z轴导向结构组成；上述转动测量装置包括电控旋转台与设置在电控旋转台上的测量头；控制装置包括随动柜，在随动柜的下端设置有支撑架，随动柜的内部设置有控制主机。本实用新型提供一种气浮导轨测量装置，解决现有技术中精度差、磨损大以及使用成本高的问题，提高了测量的精度，降低了设备的磨损与使用成本，延长了设备的使用寿命。

主权项

气浮导轨测量装置，其特征在于，包括气浮导轨装置，在该气浮导轨装置上还设置有转动测量装置，在气浮导轨装置与转动测量装置上还连接有控制装置。