发明名称 | 压印设备和制造制品的方法 | ||
摘要 | 本发明涉及一种压印设备和制造制品的方法,所述压印设备实施通过使用模具在基板上形成图案的压印处理,所述设备包括:加热单元,其构造成加热基板上的待压印的区域,从而使得所述区域变形;和处理单元,其构造成将待压印的第一区域和第二区域中的一个区域确定为首先将被压印的区域并且将另一个区域确定为随后将被压印的区域,其中,在所述加热单元使得所述一个区域变形以使得所述一个区域接近目标形状的情况中对所述另一个区域造成的影响小于在所述加热单元使得所述另一个区域变形以使得所述另一个区域接近所述目标形状的情况中对所述一个区域造成的影响。 | ||
申请公布号 | CN104570594A | 申请公布日期 | 2015.04.29 |
申请号 | CN201410551185.5 | 申请日期 | 2014.10.17 |
申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 村上洋介;林达也;中川一树 |
分类号 | G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/00(2006.01)I |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 贾金岩 |
主权项 | 一种压印设备,所述压印设备实施通过使用模具在基板上形成图案的压印处理,所述设备包括:加热单元,所述加热单元构造成加热基板上的待压印的区域,从而使得所述区域变形;和处理单元,所述处理单元构造成将待被压印的第一区域和第二区域中的一个区域确定为首先将被压印的区域并且将另一个区域确定为随后将被压印的区域,其中,在所述加热单元使得所述一个区域变形以使得所述一个区域接近目标形状的情况中对所述另一个区域造成的影响小于在所述加热单元使得所述另一个区域变形以使得所述另一个区域接近所述目标形状的情况中对所述一个区域造成的影响。 | ||
地址 | 日本东京 |