| 发明名称 | 涂胶显影机的快捷传送晶圆方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用以在集成电路生产时与光刻机联线作业的涂胶显影机的快捷传送晶圆方法。具体为将涂胶、显影工艺处理的晶圆传送路径平坦化分布，减少环形传送路径，提升晶圆的传送效率；去除涂胶显影机内的晶圆传送通道环节，提高晶圆传送速度，从而提升涂胶显影机的运行产能。 | ||
| 申请公布号 | CN104576439A | 申请公布日期 | 2015.04.29 |
| 申请号 | CN201310525845.8 | 申请日期 | 2013.10.29 |
| 申请人 | 沈阳芯源微电子设备有限公司 | 发明人 | 胡延兵;郑春海;卢继奎 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人 | 许宗富 |
| 主权项 | 一种涂胶显影机的快捷传送晶圆方法，其特征在于，将涂胶、显影工艺处理的晶圆传送路径平坦化分布，去除涂胶显影机内的晶圆传送通道环节。 | ||
| 地址 | 110168 辽宁省沈阳市浑南新区飞云路16号 | ||