| 发明名称 | 吸附式载台及其吸附方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种吸附式载台及其吸附方法。该吸附式载台包括载台本体(1)、及数个能够相对于所述载台本体(1)进行升降的真空吸附装置(2)；所述载台本体(1)用于承载基板(3)，该载台本体(1)内设有数个贯穿的阶梯孔(11)；每一真空吸附装置(2)包括一中空的支撑杆(21)、及固设于所述支撑杆(21)顶部的真空吸盘(22)；所述支撑杆(21)的内部设有与真空压力相连接的真空管路(211)；每一真空吸附装置(2)对应设于一所述阶梯孔(11)内，且每一真空吸附装置(2)独立受控，能够沿其所在的阶梯孔(11)的轴向进行升降，从而数个真空吸附装置(2)相对于所述载台本体(1)能够处于不同的高度。 | ||
| 申请公布号 | CN104570419A | 申请公布日期 | 2015.04.29 |
| 申请号 | CN201410837322.1 | 申请日期 | 2014.12.26 |
| 申请人 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 发明人 | 王松;李春良 |
| 分类号 | G02F1/13(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;B25H1/00(2006.01)I | 主分类号 | G02F1/13(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人 | 林才桂 |
| 主权项 | 一种吸附式载台，其特征在于，包括载台本体(1)、及数个能够相对于所述载台本体(1)进行升降的真空吸附装置(2)；所述载台本体(1)用于承载基板(3)，该载台本体(1)内设有数个贯穿的阶梯孔(11)；每一真空吸附装置(2)包括一中空的支撑杆(21)、及固设于所述支撑杆(21)顶部的真空吸盘(22)；所述支撑杆(21)的内部设有与真空压力相连接的真空管路(211)；每一真空吸附装置(2)对应设于一所述阶梯孔(11)内，且每一真空吸附装置(2)独立受控，能够沿其所在的阶梯孔(11)的轴向进行升降，从而数个真空吸附装置(2)相对于所述载台本体(1)能够处于不同的高度。 | ||
| 地址 | 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号 | ||