发明名称 |
一种用于高In组分InGaAs探测器的突变弛豫缓冲层 |
摘要 |
本发明涉及一种用于高In组分InGaAs探测器的突变弛豫缓冲层,在半导体衬底上外延InAs突变弛豫层,随后在InAs突变弛豫层上外延In组分反向递变的砷化物异变结构材料作为缓冲层。本发明的探测器结构可拓展半导体衬底上波长大于1.7μm的InGaAs红外探测器的研制方法,采用In组分反向递变的砷化物异变缓冲层结构,有望较好释放较大失配InGaAs材料中的应变,降低InGaAs吸收层中缺陷密度,提高器件性能;本发明在波长大于1.7μm的InGaAs红外探测器的结构设计等方法引入了更大的自由度,具有广泛的应用前景。 |
申请公布号 |
CN104576785A |
申请公布日期 |
2015.04.29 |
申请号 |
CN201410728282.7 |
申请日期 |
2014.12.04 |
申请人 |
中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
发明人 |
陈星佑;顾溢;张永刚;奚苏萍 |
分类号 |
H01L31/0304(2006.01)I;H01L31/101(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/0304(2006.01)I |
代理机构 |
上海泰能知识产权代理事务所 31233 |
代理人 |
黄志达 |
主权项 |
一种用于高In组分InGaAs探测器的突变弛豫缓冲层,其特征在于:在半导体衬底上外延InAs突变弛豫层,随后在InAs突变弛豫层上外延In组分反向递变的砷化物异变结构材料作为缓冲层。 |
地址 |
200050 上海市长宁区长宁路865号5号楼505室 |