发明名称 |
电子显微镜及电子射线检测器 |
摘要 |
在具备闪烁器(7)和光导件(8)的电子显微镜中,闪烁器(7)具有比光导件(8)的折射率大的折射率,与光导件(8)接合的端面(72)由向外侧呈凸状的曲面形成。并且,闪烁器(7)由用组成式(Ln<sub>1-x</sub>Ce<sub>x</sub>)<sub>3</sub>M<sub>5</sub>O<sub>12</sub>表示的Y-Al-O系陶瓷烧结体形成,其中,Ln表示选自Y、Gd、La及Lu中的至少一种元素,M表示选自Al及Ga中的至少一种元素。 |
申请公布号 |
CN104584182A |
申请公布日期 |
2015.04.29 |
申请号 |
CN201380043429.2 |
申请日期 |
2013.08.09 |
申请人 |
株式会社日立高新技术 |
发明人 |
今村伸;大岛卓;小濑洋一;平根贤一 |
分类号 |
H01J37/244(2006.01)I;H01J37/28(2006.01)I |
主分类号 |
H01J37/244(2006.01)I |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 11243 |
代理人 |
丁文蕴;宋春华 |
主权项 |
一种电子显微镜,其特征在于,具备:通过电子射线的入射而发出荧光的板状的闪烁器;以及具有比上述闪烁器的折射率小的折射率,并且对由上述闪烁器发出的荧光进行导光的光导件,上述闪烁器的端面的一部分由向外侧呈凸状的曲面形成,上述闪烁器经由上述凸状的曲面的端面与上述光导件接合。 |
地址 |
日本东京都 |