发明名称 电子显微镜及电子射线检测器
摘要 在具备闪烁器(7)和光导件(8)的电子显微镜中,闪烁器(7)具有比光导件(8)的折射率大的折射率,与光导件(8)接合的端面(72)由向外侧呈凸状的曲面形成。并且,闪烁器(7)由用组成式(Ln<sub>1-x</sub>Ce<sub>x</sub>)<sub>3</sub>M<sub>5</sub>O<sub>12</sub>表示的Y-Al-O系陶瓷烧结体形成,其中,Ln表示选自Y、Gd、La及Lu中的至少一种元素,M表示选自Al及Ga中的至少一种元素。
申请公布号 CN104584182A 申请公布日期 2015.04.29
申请号 CN201380043429.2 申请日期 2013.08.09
申请人 株式会社日立高新技术 发明人 今村伸;大岛卓;小濑洋一;平根贤一
分类号 H01J37/244(2006.01)I;H01J37/28(2006.01)I 主分类号 H01J37/244(2006.01)I
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人 丁文蕴;宋春华
主权项 一种电子显微镜,其特征在于,具备:通过电子射线的入射而发出荧光的板状的闪烁器;以及具有比上述闪烁器的折射率小的折射率,并且对由上述闪烁器发出的荧光进行导光的光导件,上述闪烁器的端面的一部分由向外侧呈凸状的曲面形成,上述闪烁器经由上述凸状的曲面的端面与上述光导件接合。
地址 日本东京都