发明名称 |
MEMS扫描振镜的磁场系统 |
摘要 |
本申请公开了一种MEMS扫描振镜的磁场系统,包括MEMS扫描振镜芯片和至少一个磁体组,所述的每个磁体组包括分别位于所述MEMS扫描振镜芯片上下两侧的上磁体和下磁体,所述的上磁体和下磁体的相对面磁极同性。本系统优化了永磁体与振镜的相对位置,可以使MEMS扫描振镜的驱动平面上的磁感应强度达到最大。<b /> |
申请公布号 |
CN104570332A |
申请公布日期 |
2015.04.29 |
申请号 |
CN201310479059.9 |
申请日期 |
2013.10.14 |
申请人 |
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
发明人 |
沈文江;余晖俊 |
分类号 |
G02B26/10(2006.01)I |
主分类号 |
G02B26/10(2006.01)I |
代理机构 |
南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 |
代理人 |
王锋 |
主权项 |
一种MEMS扫描振镜的磁场系统,包括MEMS扫描振镜芯片和至少一个磁体组,其特征在于:所述的每个磁体组包括分别位于所述MEMS扫描振镜芯片上下两侧的上磁体和下磁体,所述的上磁体和下磁体的相对面磁极同性。 |
地址 |
215000 江苏省苏州市工业园区独墅湖高校区若水路398号 |