用于动态确定样品空间取向并动态重新定位的装置和方法

摘要

本发明提供用于确定目标样品的空间取向的装置和方法，该装置和方法可以用于自动对焦系统。该装置和方法通过将(a)从样品反射的辐射在辐射检测器上的辐射位置与(b)样品的位置关联来起作用，并且在一些实施例中，根据样品反射的辐射在检测器上的位置调节样品的位置、光学装置的位置、或其二者，以保持样品聚焦。

主权项

一种保持在目标样品上的自动光学聚焦的方法，包括：指定放大镜内的光学平面与目标样品之间的程式化的位置和角度关系；用以至少约5度的入射角倾斜的至少一个辐射光束照射所述目标样品的至少一部分；在辐射检测器上收集从所述目标样品反射的任何辐射的至少一部分；并且所述照射和收集步骤通过所述放大镜的光学平面执行；将所述辐射检测器上收集的反射辐射的位置与所述目标样品相对于所述放大镜的所述光学平面的位置和角度取向关联；改变所述放大镜的所述光学平面、所述目标样品或其二者的位置和角度取向，以保持所述放大镜的所述光学平面与所述目标样品之间的所述程式化的位置和角度关系。