用于气体集成输送系统的质量流量控制装置及控制方法

摘要

本发明公开了一种适用于集成气体输送系统的质量流量控制装置，包括输入端、传感器单元、电磁阀以及控制单元。控制单元包括A/D转换器、微处理器和阀控制电路。微处理器接收第一数字信号及第二数字信号，第一数字信号为流量设定信号或其经A/D转换的信号，第二数字信号为流量检测信号经A/D转换的信号。微处理器包括存储模块和计算模块。控制模块根据第一数字信号生成对应的第一控制信号并输出，计算模块用于当A/D转换器输出第二数字信号时对第一数字信号及第二数字信号的偏差进行运算以输出第二控制信号。阀控制电路用于仅根据第一控制信号开启电磁阀或根据第一和第二控制信号控制电磁阀的开度。本发明能够提高质量流量控制器的响应速度，提高控制品质。

主权项

一种质量流量控制装置，包括输入端、传感器单元、电磁阀以及控制单元，其特征在于：所述输入端用于接收流量设定信号；所述传感器单元用于检测流路中流体的流量并输出流量检测信号；所述控制单元包括：A/D转换器；微处理器，与所述A/D转换器相连，其输入端接收第一数字信号及第二数字信号，所述第一数字信号为所述流量设定信号或所述流量设定信号经所述A/D转换器转换的信号，所述第二数字信号为所述流量检测信号经所述A/D转换器转换的信号，其包括：控制模块，用于根据所述第一数字信号生成对应的第一控制信号并输出；计算模块，当所述A/D转换器输出所述第二数字信号时，对所述第一数字信号以及所述第二数字信号的偏差进行运算以产生并输出第二控制信号；以及阀控制电路，与所述微处理器相连，用于仅根据所述第一控制信号开启所述电磁阀或根据所述第一控制信号和第二控制信号以控制开启的所述电磁阀的开度。