TFT玻璃基板减薄环保蚀刻液及其减薄工艺

摘要

本发明涉及一种TFT玻璃基板减薄环保蚀刻液及其减薄工艺。TFT玻璃基板减薄环保蚀刻液包括有氟化物、醋酸、盐酸、无水乙醇、纯水组成；TFT玻璃基板减薄工艺是：配制环保蚀刻液；对TFT玻璃基板进行外观检查；点胶封边；对TFT玻璃基板表面进行清洗；对玻璃进行蚀刻；蚀刻后清洗，检查、包装。本发明是用环保型玻璃蚀刻液替代了传统的HF(氢氟酸)蚀刻液，降低了蚀刻液的毒性，操作更加安全可靠，而且蚀刻液在过滤后可以循环使用，对TFT品质要求具有很大的改善，特别是对康宁玻璃(硼硅基材)在生产过程中出现的玻璃表面划伤放大、凹点及凸点具有明显改善。

主权项

一种TFT玻璃基板减薄环保蚀刻液,其特征是包括有氟化物、醋酸、盐酸、无水乙醇、纯水组成；所述组份物重量百分比是:氟化物10％‑‑20％、醋酸8％‑12％、盐酸4％‑6％、无水乙醇1％‑3％、纯水57％‑74％。