发明名称 振子、振荡器、电子设备以及移动体
摘要 振子、振荡器、电子设备以及移动体。提供可靠性品质高、振动特性稳定且具有高Q值的振子。MEMS振子(100)具有基板(1)、配置在基板(1)上的基部(22)以及从基部(22)朝彼此不同的方向延伸的多个振动部(24),在相邻的振动部(24)之间具有曲面(40)。
申请公布号 CN104579222A 申请公布日期 2015.04.29
申请号 CN201410524754.7 申请日期 2014.10.08
申请人 精工爱普生株式会社 发明人 木原龙儿
分类号 H03H9/02(2006.01)I;H03H9/24(2006.01)I 主分类号 H03H9/02(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 李辉;黄纶伟
主权项 一种振子,其特征在于,该振子具有:基板;基部,其配置在所述基板上;以及多个振动部,它们从所述基部朝彼此不同的方向延伸,在相邻的所述振动部之间具有曲面。
地址 日本东京都