发明名称 | 振子、振荡器、电子设备以及移动体 | ||
摘要 | 振子、振荡器、电子设备以及移动体。提供可靠性品质高、振动特性稳定且具有高Q值的振子。MEMS振子(100)具有基板(1)、配置在基板(1)上的基部(22)以及从基部(22)朝彼此不同的方向延伸的多个振动部(24),在相邻的振动部(24)之间具有曲面(40)。 | ||
申请公布号 | CN104579222A | 申请公布日期 | 2015.04.29 |
申请号 | CN201410524754.7 | 申请日期 | 2014.10.08 |
申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 木原龙儿 |
分类号 | H03H9/02(2006.01)I;H03H9/24(2006.01)I | 主分类号 | H03H9/02(2006.01)I |
代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 李辉;黄纶伟 |
主权项 | 一种振子,其特征在于,该振子具有:基板;基部,其配置在所述基板上;以及多个振动部,它们从所述基部朝彼此不同的方向延伸,在相邻的所述振动部之间具有曲面。 | ||
地址 | 日本东京都 |