| 发明名称 | 一种静电吸盘及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种静电吸盘及其制造方法，包括电极层和陶瓷电介体，所述电极层设置于两层陶瓷电介体之间，所述两层陶瓷电介体中的第一电介层的下表面边缘有一圈凸起，第二电介层的上表面边缘与所述第一电介层的凸起对应处有一圈凹槽，所述第二电介层的上表面设置电极层，所述电极层通过陶瓷金属化处理的手段形成于第二电介层的上表面，所述第一电介层的凸起与第二电介层的凹槽拼合呈相互耦合状态，并通过固相烧结方式将电极层埋入陶瓷电介体内部。本发明采用两层电介体边缘相互耦合以及固相烧结的方式实现电极层与陶瓷电介体的可靠结合；由于电极层中可以不添加无机陶瓷晶体粒子，从而能够提高内部电极的导电性能。 | ||
| 申请公布号 | CN104576490A | 申请公布日期 | 2015.04.29 |
| 申请号 | CN201410850902.4 | 申请日期 | 2014.12.31 |
| 申请人 | 上海卡贝尼精密陶瓷有限公司 | 发明人 | 陶岳雨;刘林凤;刘琪 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人 | 宋缨;孙健 |
| 主权项 | 一种静电吸盘，包括电极层(2)和陶瓷电介体，其特征在于，所述电极层(2)设置在两层陶瓷电介体之间，所述两层陶瓷电介体中的第一电介层(1)的下表面边缘有一圈凸起，第二电介层(3)的上表面边缘与所述第一电介层(1)的凸起对应处有一圈凹槽，所述第二电介层(3)的上表面设置电极层(2)，所述电极层(2)通过陶瓷金属化处理在第二电介层(3)的上表面成形，所述第一电介层(1)的凸起与第二电介层(3)的凹槽拼合呈相互耦合状态，并通过固相烧结方式形成一个整体。 | ||
| 地址 | 201205 上海市浦东新区周公路界龙大道598号 | ||