发明名称 应用于超硬表面的表面改性氧化铝抛光液的制备方法
摘要 应用于超硬表面的表面改性氧化铝抛光液的制备方法,其特征在于:该制备方法首先制备所需的特定改性剂,再用所制备的特定改性剂对氧化铝表面进行包覆改性,然后加入分散剂;抛光组合液放入QM系列卧式液体球磨机中,球磨适当的时间;接着加入适量的氧化剂、防腐剂搅拌均匀,再用pH调节剂将抛光液的pH调到3-12。所述制备的特定表面改性剂的添加量与氧化铝表面积相关;所述分散剂为一种水溶性高分子聚合物。该制备方法工艺简便、容易生产,环保安全,用该方法制备的抛光液具有良好的悬浮分散性及存储稳定性,应用到铝合金、铜、不锈钢、贵金属和蓝宝石衬底抛光时,具有抛光效率高,表面粗糙度小,对蓝宝石衬底表面/亚表面损伤小等优点。
申请公布号 CN104559796A 申请公布日期 2015.04.29
申请号 CN201310484599.6 申请日期 2013.10.14
申请人 天津西美半导体材料有限公司 发明人 高如山
分类号 C09G1/02(2006.01)I;C09C1/40(2006.01)I;C09C3/10(2006.01)I;C09C3/08(2006.01)I 主分类号 C09G1/02(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 应用于超硬表面的表面改性氧化铝抛光液的制备方法,其特征在于:该制备方法首先制备所需的特定改性剂,再用所制备的特定改性剂对氧化铝表面进行包覆,然后加入分散剂进行球磨分散,接着加入适量的氧化剂、防腐剂搅拌均匀,再用pH调节剂将抛光液的pH调到3‑12。
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