半导体处理用的成批化学气相沉积方法及装置

摘要

本发明提供半导体处理用的成批CVD方法及装置。该成批CVD方法反复进行具有吸附工序、反应工序和除去残留气体的工序的循环。吸附工序这样地进行：通过在最初的第1期间内使原料气体阀为打开状态之后使其成为关闭状态，向处理容器内供给原料气体，通过将反应气体阀维持在关闭状态，不向处理容器内供给反应气体，将排气阀维持在关闭状态，不对处理容器内进行排气。反应工序这样地进行：将原料气体阀维持在关闭状态，不向处理容器内供给原料气体，使反应气体阀为打开状态，向处理容器内供给反应气体，通过将排气阀自规定的打开状态逐渐减小阀门开度，对处理容器内进行排气。

主权项

一种半导体处理用的成批CVD方法，该方法采用成批CVD装置来进行，其中，上述装置包括：纵长的处理容器，其用于收纳多个被处理体；保持器具，其用于在上述处理容器内将上述被处理体隔开间隔地层叠并支承上述被处理体；原料气体供给系统，其用于向上述处理容器内供给原料气体，上述原料气体供给系统包括用于调整上述原料气体的供给的原料气体阀；反应气体供给系统，其用于向上述处理容器内供给反应气体，上述反应气体供给系统包括用于调整上述反应气体的供给的反应气体阀；排气系统，其用于对上述处理容器内进行排气，上述排气系统包括用于调整排气量的排气阀；上述方法通过将以下循环反复进行多次并将每一次形成的薄膜层叠起来，在上述被处理体上形成具有规定厚度的成品膜，在此，上述循环包括以下工序：吸附工序，其用于使上述原料气体吸附在上述被处理体上，在该工序中，通过在最初的第1期间使上述原料气体阀为打开状态之后使其成为关闭状态，从而向上述处理容器内供给上述原料气体，将上述反应气体阀维持在关闭状态而不向上述处理容器内供给上述反应气体，将上述排气阀维持在关闭状态而不对上述处理容器内进行排气，在关闭上述反应阀之后，利用供给到上述处理容器的上述原料气体将该处理容器的压力维持恒定，并利用该原料气体进行吸附；第1插入工序，其自上述处理容器内除去残留气体，在该工序中，将上述原料气体阀及上述反应气体阀维持在关闭状态而不向上述处理容器内供给上述原料气体及上述反应气体，使上述排气阀为打开状态而对上述处理容器内进行排气；反应工序，其使上述反应气体与吸附在上述被处理体上的上述原料气体发生反应，在该工序中，将上述原料气体阀维持在关闭状态而不向上述处理容器内供给上述原料气体，使上述反应气体阀为打开状态而向上述处理容器内供给上述反应气体，通过将上述排气阀自规定的打开状态逐渐减小阀门开度，从而对上述处理容器内进行排气，并且，在上述反应工序中，先以第1减小率使上述排气阀自全开状态一下子减小阀门开度到规定的打开状态，然后采用比第1减小率小的第2减小率使上述排气阀自上述规定的打开状态减小阀门开度；第2插入工序，其自上述处理容器内除去残留气体，在该工序中，将上述原料气体阀及上述反应气体阀维持在关闭状态而不向上述处理容器内供给上述原料气体及上述反应气体，使上述排气阀成为阀门开度比上述反应工序的最终时期的阀门开度大的打开状态而对上述处理容器内进行排气。