| 发明名称 | 显示装置用Cu合金膜和显示装置 | ||
| 摘要 | 本发明具备具有与含氧绝缘体层的高密接性和低电阻率的Cu合金膜的显示装置。本发明的显示装置用Cu合金膜，具有包括第一层(Y)和第二层(X)的层叠构造，其中，所述第一层(Y)由合计含有1.2～20原子％的从由Zn、Ni、Ti、Al、Mg、Ca、W、Nb和Mn构成的群中选出的至少一种的元素的Cu合金构成，所述第二层(X)由纯Cu或以Cu为主成分的Cu合金即电阻率比所述第一层(Y)低的Cu合金构成，所述第一层(Y)的一部或全部与含氧绝缘体层直接接触，并且，所述第一层(Y)含有Zn或Ni时，所述第一层(Y)的膜厚为10nm以上100nm以下，所述第一层(Y)不含有Zn和Ni时，所述第一层(Y)的膜厚为5nm以上100nm以下。 | ||
| 申请公布号 | CN103003860B | 申请公布日期 | 2015.04.29 |
| 申请号 | CN201180035545.0 | 申请日期 | 2011.07.21 |
| 申请人 | 株式会社神户制钢所 | 发明人 | 三木绫;钉宫敏洋;寺尾泰昭 |
| 分类号 | G09F9/30(2006.01)I;C22C9/00(2006.01)I;C22C9/01(2006.01)I;C22C9/04(2006.01)I;C22C9/05(2006.01)I;C22C9/06(2006.01)I;C22F1/08(2006.01)I;C23C30/00(2006.01)I;G02F1/1343(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L21/3205(2006.01)I;H01L23/52(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I;C22F1/00(2006.01)I | 主分类号 | G09F9/30(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 王玉玲 |
| 主权项 | 一种显示装置用Cu合金膜，其特征在于，具有包括第一层(Y)和第二层(X)的层叠构造，其中，所述第一层(Y)由合计含有1.2～20原子％的从由Zn、Ni、Ti、Al、Mg、Ca、W、Nb和Mn构成的群中选出的至少一种元素的Cu合金构成，所述第二层(X)由纯Cu或以Cu为主成分的Cu合金即电阻率比所述第一层(Y)低的Cu合金构成，所述第一层(Y)的一部或全部与形成在基板上的含氧绝缘体层直接接触，并且，所述第一层(Y)含有Zn或Ni时，所述第一层(Y)的膜厚为10nm以上100nm以下，所述第一层(Y)不含有Zn和Ni时，所述第一层(Y)的膜厚为5nm以上100nm以下，所述Cu合金膜全体的膜厚为200nm以上600nm以下。 | ||
| 地址 | 日本兵库县 | ||