| 摘要 |
입상체 전체에 타겟 원자를 균일하게 부착할 수 있는 드럼 스퍼터 장치를 제공한다. 입상체가 수용되는 진공용기(2)와, 진공용기(2) 내에 배치되며 적어도 한쪽 측단면(10c)이 개구된 통상의 드럼(10)과, 드럼(10) 내에 배치되는 스퍼터링 타겟(16)을 구비하고 있으며, 지지 아암(11), 회전용 구동모터(12), 요동용 구동모터(13), 제 1 기어부재(14), 및 제 2 기어부재(15)에 의해, 드럼(10)의 축선 둘레로 드럼을 회전시킴과 아울러, 드럼(10)의 축선 방향에서의 한쪽 측단부(10e)와 다른쪽 측단부(10f)가 상대적으로 상하로 교대하도록 드럼(10)을 요동시키는 것이 가능하게 되어 있다. |
