| 摘要 |
バルブ（１０１）は、キャップ（１１０）と、可動部となるダイヤフラム（１２０）と、バルブ筐体（１３０）と、弁部（１５０）とを備える。バルブ筐体（１３０）には、バルブ室（１４０）へ流体が流入する流入孔（１４３）と、バルブ室（１４０）から流体が流出する流出孔（１４９）と、ダイヤフラム（１２０）の周縁部（１２１）が載置される載置部（１３４）と、が形成されている。ダイヤフラム（１２０）は、周縁部（１２１）と、部（１２２）と、周縁部（１２１）および部（１２２）の間を繋ぐ連結部（１２４）と、プッシャ（１２３）とを有する。連結部（１２４）は、周縁部（１２１）側から部（１２２）側にかけて、弁体部（１５１）側に凸となってからキャップ（１１０）側に凸となる波形状である。 |
