| 摘要 |
<p>第１の形状のビーム断面をなし、被加工物上にて、第１の形状のビーム断面に相当する第１の照射領域（２１）をなすレーザ光を、掘削領域（２４）の全体へ順次照射させる第１の加工工程と、第１の形状より小さい第２の形状のビーム断面をなし、被加工物上にて、第２の形状のビーム断面に相当する第２の照射領域（２２）をなすレーザ光を、掘削領域（２４）へ順次照射させる第２の加工工程と、を含み、第１の加工工程では、第１の照射領域（２１）の一部分同士が互いに重畳する重畳領域（２３）を形成するように、第１の照射領域（２１）をなすレーザ光を順次照射させ、第２の加工工程では、掘削領域（２４）のうち重畳領域（２３）以外の領域に第２の照射領域（２２）が含まれるように、第２の照射領域（２２）をなすレーザ光を順次照射させる。</p> |
