| 摘要 |
<p>基板搬送ローラ６は、第１シェル１１、第２シェル１３、内ブロック３、マニホールド４及び隙間部１５を備えている。第１シェル１１は、ガスの供給経路としての複数の第１貫通孔１２を有する。内ブロック３は、第１シェル１１の内部に配置されている。特定の角度の範囲内で第１貫通孔１２に向けてガスを導くように、内ブロック３にマニホールドが形成されている。隙間部１５は、特定の角度の範囲外で第１貫通孔１２に向けてガスを導くように形成されている。第２シェル１３は、マニホールド４から第１貫通孔１２にガスを導く第２貫通孔を有し、第１シェル１１と内ブロック３との間に配置されている。第１貫通孔１２の中心軸が第２貫通孔１４の中心軸からオフセットしている。</p> |
