| 摘要 |
金属原料が供給される反応容器と、反応容器内の金属原料との間でプラズマを生成し、金属原料を蒸発させて金属蒸気を生成するプラズマトーチと、金属蒸気を搬送するためのキャリアガスを反応容器内に供給するキャリアガス供給部と、キャリアガスにより反応容器から移送される金属蒸気を冷却して金属粉末を生成する冷却管を備えるプラズマ装置であって、冷却管が、反応容器からキャリアガスによって移送される金属蒸気及び／又は金属粉末を間接的に冷却する間接冷却区画と、間接冷却区画に続き、金属蒸気及び／又は金属粉末を直接的に冷却する直接冷却区画とを備え、間接冷却区画の内壁の少なくとも一部に、凸部及び／又は凹部が設けられている。 |
