| 摘要 |
<p>접촉에 의한 열 변동의 영향이 증착 재료에 전해지기 어려워, 증착 재료의 온도 분포를 균일화할 수 있으며, 증착 재료의 증발량의 안정화를 도모할 수 있는 증발원이 제공된다. 증착 재료(1)가 충전되는 도가니(2)와, 이 도가니(2)를 둘러싸도록 마련된 가열부(3)와, 상기 도가니(2) 및 상기 가열부(3)를 수납 배치하는 수납체(4)로 이루어지는 증발원으로서, 상기 도가니(2)의 외측면의 상기 증착 재료(1)의 충전면(1a)보다 높고 도가니(2)의 개구 위치보다 낮은 위치에 도가니 수취부(5)를 마련하고, 상기 수납체(4)의 내측에 마련되는 도가니 지지부(6)에 의해 상기 도가니 수취부(5)를 지지하여, 상기 도가니(2)의 외측 바닥면이 상기 수납체(4)의 내측 바닥면으로부터 이격된 상태로 상기 도가니(2)를 상기 수납체(4) 내에 수납 배치할 수 있도록 구성한다.</p> |
