| 摘要 |
本発明の課題は、酸化セリウムを主成分とする使用済み研磨材から、効率的な方法で酸化セリウムを回収し、その後、簡易な方法で再生研磨材を得ることができる研磨材再生方法及び再生研磨材を提供することである。本発明の研磨材再生方法は、ケイ素が主成分である被研磨物を研磨した、酸化セリウム研磨材を含有する使用済み研磨材スラリーから、酸化セリウム研磨材を再生する研磨材再生方法であって、研磨機から排出される研磨材スラリーを回収するスラリー回収工程Ａと、該回収した研磨材スラリーに対し、無機塩としてマグネシウム塩を添加し、母液の２５℃換算のｐＨ値が６．５以上、１０．０未満の条件で研磨材を凝集させ、該研磨材を母液より分離して濃縮する分離濃縮工程Ｂと、該分離して濃縮した研磨材を回収する研磨材回収工程Ｃと、を経て、酸化セリウムを含有する研磨材を再生することを特徴とする。 |
