| 摘要 |
1. Способ измерения разности давлений датчиком с частотно-модулированным выходным сигналом, по которому используют мембрану с эпитаксиально выращенными на ней резонаторами, возбуждают колебания резонаторов и формируют выходной сигнал, отличающийся тем, что дополнительно вводят мембрану с резонаторами с возможностью образования вакуумированного промежутка.2. Датчик измерения разности давлений с частотно-модулированным выходным сигналом, реализующий способ по п. 1, содержащий мембрану с эпитаксиально выращенными на ней резонаторами, систему возбуждения колебаний резонаторов с постоянным магнитом и систему формирования выходного сигнала, отличающийся тем, что обе мембраны с резонаторами разделены вакуумированным промежутком и образуют корпус. |
