熱反応型レジスト材料、剥離液、モールドの製造方法、モールド、現像方法およびパターン形成材料

摘要

熱反応型レジスト材料は、酸化銅と、シリコンまたは酸化銅と、を含み、熱反応型レジスト材料中のシリコンまたは酸化シリコンの含有量が、シリコンのモル換算で、４．０ｍｏｌ％以上１０．０ｍｏｌ％未満となるように構成される。熱反応型レジスト材料を用いて熱反応型レジスト層を形成し、熱反応型レジスト層を露光した後に現像液で現像する。得られた熱反応型レジスト層をマスクとして、基材をフロンガスでドライエッチングして、基材表面に凹凸形状を有するモールドを製造する。このとき、凹凸形状で構成される微細パターンの制御が可能である。