| 摘要 |
<p>【課題】形状測定装置の振動、駆動ステージの駆動精度、温度変動、部品歪みなどに起因する載物台と干渉光学系との相対距離の微小変動の影響を受けることなく、白色光干渉縞が撮像されたときの干渉光学系の載物台に対する相対位置を正確に把握して、ワーク形状を高精度に測定できる形状測定装置を提供する。【解決手段】本発明の形状測定装置１は、白色光干渉を用いてワーク形状を測定する形状測定装置であって、ワークＷを載置する載物台１０と、ワークＷに白色光ＷＬを照射して白色光干渉縞を発生させる干渉光学系１００と、載物台及び干渉光学系のいずれか一方の位置を光軸方向に移動させる駆動部２６と、駆動部により変化する載物台と干渉光学系との相対距離Ｌを測定する測長器５０と、相対距離に応じて変化する白色光干渉縞のコントラスト情報を得るために、白色光干渉縞を撮像する撮像部４０と、を有する。【選択図】図１</p> |
