| 摘要 |
<p>【課題】ミラーの回動時に、ミラーに対して安定した抗力を付与可能なミラーアクチュエータおよびこのミラーアクチュエータを搭載したビーム照射装置およびレーザレーダを提供する。【解決手段】ミラーアクチュエータ１は、インナーユニット１０と、アウターユニット２０を備えている。インナーユニット１０は、チルトシャフト２５、２６によってアウターユニット２０に回動可能に支持される。インナーユニット１０が、チルト中立位置からチルト方向に回動すると、チルトシャフト２５、２６の端部に固着された磁気バネ用マグネット２５２、２６２と、チルトコイルユニット２２、２３のチルトマグネット１５１、１６１との間に、インナーユニット１０をチルト中立位置に引き戻す磁力が生じる。ミラー１２３がチルト方向に回動する際、この磁力による抗力が、インナーユニット１０に付与される。【選択図】図１</p> |
