SYSTEM AND METHOD OF GROWING SILICON INGOTS FROM SEEDS IN A CRUCIBLE AND MANFACTURE OF SEEDS USED THEREIN

摘要

실리콘 잉곳의 전체 제조비용을 절감하기 위한 장치 및 방법이 제공된다. 특히, 하나 또는 그 이상의 표면 조각들은 특정 배향으로 다수의 노드들과 관련된 실리콘 보울(silicon boule)로부터 얇게 잘라내어진다. 이러한 하나 또는 그 이상의 표면 조각들은 실리콘 잉곳 성장과정에서 사용가능한 특별한 길이, 폭 및 두께를 갖는 하나 또는 그 이상의 시드로 형성된다. 하나 또는 그 이상의 시드를 형성하기 위해서 이러한 조각들을 이용함으로써, 사전에 폐기되는 보울의 조각들은 실리콘 잉곳 성장공정에서 사용하기 위하여 높은 품질의 시드를 형성하도록 사용된다.